32.844.1я722 К65
Копыл, Георгий Филиппович. Основы технологии и оборудование производства микроэлектронных устройств [] : учеб. пособие / Г. Ф. Копыл. - Киев : Вища шк., 1992. - 415 с. : рис. - Лит.: с. 410. - Предм. указ.: с. 411-415. - ISBN 5-11-002526-6 : 3.20 крбББК 32.844.1я722 Рубрики: Мікроелектроніка--Обладнання--Технологія--Навчальні видання фывфывфыв: микроэлектроника -- развитие полупроводниковой электроники -- розвиток напівпровідникової електроніки -- безопасность труда рабочих -- безпека праці робітників -- контрольно-измерительные устройства -- контрольно-вимірювальні пристрої -- системное программное обеспечение -- системне програмне забезпечення -- производство интегральных микросхем -- виробництво інтегральних мікросхем -- формирование топологического рисунка -- формування типологічного малюнка -- микроэлектронные устройства -- мікроелектронні пристрої -- контроль цифровых интегральных микросхем -- контроль цифрових інтегральних мікросхем -- испытания микроэлектронных устройств -- випробування мікроелектронних пристроїв Аннотация: Технология, контрольно-измерительное и испытательное оборудование производства микроэлектронных устройств и испытательное оборудование.
Держатели документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича
Экземпляры всего: 1 ВВ (1) Свободны: ВВ (1)
|