|
Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.3.049.77(075)/Б82 Автор(ы) : Борисенко, Александр Сергеевич, Бавыкин, Николай Иванович Заглавие : Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств : учебник Выходные данные : М.: Машиностроение, 1983 Колич.характеристики :: рис., табл. Примечания : Лит.: с. 318-319 Цена : 1.00 р. УДК : 621.3.049.77(075) ББК : 32.844.1я72 Предметные рубрики: Мікроелектроніка-- Інтегральні мікросхеми-- Технологія виробництва-- Устаткування Географич. рубрики: Аннотация: Теоретические и практические вопросы технологии производства интегральных микросхем, печатных плат. Экземпляры :ВВ(1) Свободны : ВВ(1) Держатели документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича Доп.точки доступа: Бавыкин, Николай Иванович |