Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.3.049.77(035)/Г74 Автор(ы) : Готра, Зенон Юрьевич Заглавие : Справочник по технологии микроэлектронных устройств Выходные данные : Л.: Каменяр, 1986 Колич.характеристики :287 с.: рис., табл. Примечания : Лит.: с. 284-285 Цена : 1.00 р. УДК : 621.3.049.77(035) ББК : 32.844.1я2 Предметные рубрики: Мікроелектроніка-- Пристрої Географич. рубрики: фывфывфыв (''Своб.индексиров.''): структура кристаллического твердого тела--структура кристалічного твердого тіла--очистка полупроводниковых материалов--очистка напівпровідникових матеріалів--обработка полупроводниковых материалов--обробка напівпровідникових матеріалів--полупроводниковые подложки--напівпровідникові підкладки--диффузия--дифузія--эпитаксиальные слои--епітаксіальні шари--фотошаблоны--фотошаблони--литографические процессы--літографічні процеси--тонкие пленки--тонкі плівки--сборка микроэлектронных устройств--складання мікроелектронних пристроїв Аннотация: Данные о материалах, которые применяются при производстве микроэлектронных устройств, о способах их очистки и обработки. Экземпляры : всего : ВВ(1), АБ(1) Свободны : ВВ(1), АБ(1) Держатели документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича |