Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 32.844.1/М80 Автор(ы) : Моряков, Олег Сергеевич Заглавие : Термические процессы в микроэлектронике : учеб. пособие Выходные данные : Москва: Высш. шк., 1987 Колич.характеристики :199 с.: рис., табл. Примечания : Лит.: с. 197 Цена : 0.40 р. ББК : 32.844.1 Предметные рубрики: Напівпровідникові прилади-- Інтегральні мікросхеми-- Виготовлення Географич. рубрики: фывфывфыв (''Своб.индексиров.''): полупроводниковые приборы--интегральные микросхемы--контрольно-измерительные приборы--контрольно-вимірювальні прилади--технологические процессы--технологічні процеси--термические процессы--термічні процеси--элионная технология--еліонна технологія--фотолитография--фотолітографія--вакуумная техника--вакумна техніка--тонкие пленки--тонкі плівки--сборочные работы--складальні роботи--герметизация полупроводниковых приборов--герметизація напівпровідникових приладів Аннотация: Процессы изготовления полупроводниковых приборов и микросхем диффузией, планарной и элитной технологией. Экземпляры :ВВ(1) Свободны : ВВ(1) Держатели документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича