Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : м20/М 20 Автор(ы) : Малышева, Идея Александровна Заглавие : Технология производства интегральных микросхем : учебник . -2-е изд., перераб. и доп. Выходные данные : Москва: Радио и связь, 1991 Колич.характеристики :344 с.: рис., табл. Примечания : Прил.: с. 315-337. - Лит.: с. 338. - Предм. указ.: с. 338-342 ISBN, Цена 5-256-00861-7: 2.50 крб ББК : 32.844.1 Предметные рубрики: Інтегральні мікросхеми-- Технологічні процеси-- Виготовлення Географич. рубрики: фывфывфыв (''Своб.индексиров.''): интегральные микросхемы--технологические процессы--технологии микросхем--изготовление пластин--виготовлення пластин--очистка подложек--очищення підкладок--топология микросхем--топологія мікросхем--тонкие пленки--тонкі плівки--полупроводниковые слои--напівпровідникові шари--диффузное легирование--дифузне легування--ионное легирование--іонне легування--биполярные структуры--біполярні структури--сборка микросхем--складання мікросхем Аннотация: Технологические процессы производства микросхем: механической обработки полупроводников и диэлектриков, очистка пластин и подложек. Экземпляры :ВВ(1) Свободны : ВВ(1) Держатели документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича |