537.31
С79


    Степанов, Аркадий Евгеньевич.
    Математическое моделирование процессов выращивания кристаллических полупроводниковых материалов [] : монография / А. Е. Степанов, Л. Г. Кириллова ; отв. ред. Г. Е. Пухов. - К. : Наукова думка, 1988. - 184 с. - Лит.: с. 176-182. - ISBN 5-12-009333-7 : 2.20 р.
УДК
ББК 22.379
Рубрики: Напівпровідникові матеріали та вироби--Кристалізація--Математичне моделювання--Наукові видання
Кл.слова (ненормовані):
кристаллизация -- кристалізація -- кристаллические полупроводниковые материалы -- выращивание монокристаллов -- кристалічні напівпровідникові матеріали -- вирощування монокристалів -- выращивание эпитаксиальных слоев -- вирощування епітаксійних шарів
Анотація: Теория и методы расчета процессов переноса тепла и массы вещества в системах с фазовыми переходами.

Утримувачі документа:
ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Дод.точки доступу:
Кириллова, Л. Г.; Пухов, Г. Е. \отв. ред.\
Примірників всього: 1
ФОНД (1)
Свободны: ФОНД (1)