М 20 Малышева, Идея Александровна. Технология производства интегральных микросхем [] : учебник / И. А. Малышева. - 2-е изд., перераб. и доп. - Москва : Радио и связь, 1991. - 344 с. : рис., табл. - Прил.: с. 315-337. - Лит.: с. 338. - Предм. указ.: с. 338-342. - ISBN 5-256-00861-7 : 2.50 крб РУБ м20 Рубрики: Інтегральні мікросхеми--Технологічні процеси--Виготовлення--Навчальні видання Кл.слова (ненормовані): интегральные микросхемы -- технологические процессы -- технологии микросхем -- изготовление пластин -- виготовлення пластин -- очистка подложек -- очищення підкладок -- топология микросхем -- топологія мікросхем -- тонкие пленки -- тонкі плівки -- полупроводниковые слои -- напівпровідникові шари -- диффузное легирование -- дифузне легування -- ионное легирование -- іонне легування -- биполярные структуры -- біполярні структури -- сборка микросхем -- складання мікросхем Анотація: Технологические процессы производства микросхем: механической обработки полупроводников и диэлектриков, очистка пластин и подложек. Утримувачі документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича Примірників всього: 1 ВВ (1) Свободны: ВВ (1) |