Форма документа : Однотомне видання Шифр видання : 621.3.049.77/Б95 Автор(и) : Быстров, Юрий Александрович, Колгин, Евгений Александрович, Котлецов, Борис Николаевич Назва : Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве Вихідні дані : М.: Радио и связь, 1988 Кільк.характеристики :168 с.: рис., табл. Примітки : Л-ра: с. 162-166 ISBN, Ціна 5-256-00006-3: 0.65 р. УДК : 621.3.049.77 ББК : 32.844.1 Предметні рубрики: Інтегральні мікросхеми-- Контроль Географіч. рубрики: Анотація: Методы и средства измерения линейных размеров, толщин и глубин топологических элементов интегральных микросхем. Примірники :ВВ(1) Вільні : ВВ(1) Утримувачі документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича Дод.точки доступу: Колгин, Евгений Александрович; Котлецов, Борис Николаевич |