Форма документа : Однотомне видання Шифр видання : 621.3.049.77/Г74 Автор(и) : Готра, Зенон Юрійович, Бобицький , Ярослав Володимирович Назва : Лазерні методи обробки в мікроелектроніці Вихідні дані : Л.: Світ, 1991 Кільк.характеристики :168 с.: рис., табл. Примітки : Л-ра: с. 154-165 ISBN, Ціна 5-11-000838-8: 4.00 крб УДК : 621.3.049.77 ББК : 32.844.1 Предметні рубрики: Мікроелектроніка-- Лазерна обробка Географіч. рубрики: Ключові слова (''Вільн.індекс.''): лазерне випромінювання--лазерное излучение--діагностика лазерної обробки--диагностика лазерной обработки--техніка лазерної обробки--техника лазерной обработки--оптична діагностика зони обробки--оптическая диагностика зоны обработки--лазерний відпал--лазерный отжиг--лазерна епітаксія--лазерная эпитаксия--лазерне легування--лазерное легирование--лазерний синтез--лазерный синтез--лазерно-стимульовані процеси травлення--лазерно-стимулирующие процессы травления--лазерно-стимульовані процеси осадження--лазерно-стимулирующие процессы осаждения Анотація: Викладені фізико-технічні основи процесів створення приладів мікроелектроніки на базі лазерної техніки. Примірники :ВВ(1) Вільні : ВВ(1) Утримувачі документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича Дод.точки доступу: Бобицький , Ярослав Володимирович