Форма документа : Однотомне видання Шифр видання : 621.3.049.77/Д36 Автор(и) : Деркач, Виталий Павлович, Кияшко, Галина Федоровна, Кухарчук, Маргарита Сергеевна Назва : Методы повышения параметров БИС Вихідні дані : К.: Вища шк., 1986 Кільк.характеристики :152 с.: рис. Примітки : Лит.: с. 143-152 Ціна : 1.40 р. УДК : 621.3.049.77 ББК : 32.844.1 Предметні рубрики: Інтегральні мікросхеми-- Технологія Географіч. рубрики: Ключові слова (''Вільн.індекс.''): биполярные интегральные схемы--біполярні інтегральні схеми--оптоэлектронные интегральные структуры--оптоелектронні інтегральні структури--акустоэлектронные интегральные структури--акустоелектронні інтегральні структури--фотолитография--фотолітографія--электронолитография--електронолітографія--рентгенолитография--рентгенолітографія--ионолитография--іонолітографія--вакуумно-плазменная микрообработка--вакумно-плазмова мікрообробка--ионное внедрение--іонне впровадження Анотація: Принципы работы, схемные и конструктивные особенности больших и сверхбольших интегральных микросхем. Примірники :ВВ(1) Вільні : ВВ(1) Утримувачі документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича Дод.точки доступу: Кияшко, Галина Федоровна; Кухарчук, Маргарита Сергеевна