Форма документа : Однотомне видання Шифр видання : 533.9/К73 Автор(и) : Котельников, Дмитрий Иванович Назва : Сюрпризы плазмы Вихідні дані : Киев: Тэхника, 1990 Кільк.характеристики :158 с.: рис. Примітки : Лит.: с. 155-156 ISBN, Ціна 5-335-00366-9: 1.40 р. УДК : 533.9 ББК : 22.333 Предметні рубрики: Плазма (фіз.) Ключові слова (''Вільн.індекс.''): ионная имплантация полупроводников--іонна імплантація напівпровідників--катодное распыление--катодне розпилення--лазеры--лазери--контрагированная плазма--контрагірованна плазма--электронный луч--електронний промінь--ионное осаждение--іонне осадження--диффузионная сварка--дифузійне зварювання Анотація: В книге рассказывается о газоразрядной плазме, ее свойствах и применении в науке и технике. Основное внимание уделено плазме тлеющего разряда. Примірники : всього : ЧЗ(1), ВВ(1) Вільні : ЧЗ(1), ВВ(1) Утримувачі документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича