Форма документа : Однотомне видання Шифр видання : 32.844.1я722/К65 Автор(и) : Копыл, Георгий Филиппович Назва : Основы технологии и оборудование производства микроэлектронных устройств : учеб. пособие Вихідні дані : Киев: Вища шк., 1992 Кільк.характеристики :415 с.: рис. Примітки : Лит.: с. 410. - Предм. указ.: с. 411-415 ISBN, Ціна 5-11-002526-6: 3.20 крб ББК : 32.844.1я722 Предметні рубрики: Мікроелектроніка-- Обладнання-- Технологія Географіч. рубрики: Ключові слова (''Вільн.індекс.''): микроэлектроника--развитие полупроводниковой электроники--розвиток напівпровідникової електроніки--безопасность труда рабочих--безпека праці робітників--контрольно-измерительные устройства--контрольно-вимірювальні пристрої--системное программное обеспечение--системне програмне забезпечення--производство интегральных микросхем--виробництво інтегральних мікросхем--формирование топологического рисунка--формування типологічного малюнка--микроэлектронные устройства--мікроелектронні пристрої--контроль цифровых интегральных микросхем--контроль цифрових інтегральних мікросхем--испытания микроэлектронных устройств--випробування мікроелектронних пристроїв Анотація: Технология, контрольно-измерительное и испытательное оборудование производства микроэлектронных устройств и испытательное оборудование. Примірники :ВВ(1) Вільні : ВВ(1) Утримувачі документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича