Форма документа : Багатотомне видання Шифр видання : 32.844.1/Т38 Автор(и) : Войналович, Олександр, Могэб К., Фрейзер Д., Фичтнер У., Паррильо Л. Назва : Технология СБИС = LVLSI Technology: В 2 кн./ под ред. С. Зи. Кн. 2 Вихідні дані : Москва: Мир, 1986 - 1986 Кільк.характеристики :453 с.: рис., табл. Місце публікування : Охорона праці. - К.: Яковенко М. Г., 2019. - N 4. - С. 40-45: рис. (Шифр ohpr/2019/4) Примітки : Библиогр. в конце глав. - Прил.: с. 439-444. - Предм. указ.: с. 445-451. - Авт. зазначено на звороті тит. арк. ББК : 32.844.1 Предметні рубрики: Електронні прилади-- Інтегральні мікросхеми-- Моделювання Ключові слова (''Вільн.індекс.''): электронные устройства--интегральные микросхемы--сухое травление--сухе травлення--металлизация--металізація--моделирование технологических процессов--моделювання технологічних процесів--интеграция технологических процессов--інтеграція технологічних процесів--методы контроля--методи контролю--методы диагностики--методи діагностики--методы сборки--методи збирання--методы герметизации--методи герметизації--надежность микросхем--надійність мікросхем Анотація: Ионно-плазменная технология применительно к процессам формирования интегральных микросхем, технологические схемы изготовления элементов СБИС. Примірники :ВВ(1) Вільні : ВВ(1) Утримувачі документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича Дод.точки доступу: Зи, С. \ред.\; Могэб , К.; Фрейзер, Д.; Фичтнер, У.; Паррильо, Л.; Лейкин, В. Н. \пер.\; Чистяков, Ю. Д. \ред.\; Петров , В. Б. \ред.\; Эйдельман, Б. Л. \ред.\