Форма документа : Однотомне видання Шифр видання : 32.844.1/Ч49 Автор(и) : Черняев, Владимир Николаевич Назва : Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров : учебник для вузов . -2-е изд., перераб. и доп. Вихідні дані : Москва: Радио и связь, 1987 Кільк.характеристики :464 с.: рис., табл. Примітки : Лит.: с. 455. - Предм. указ.: с. 456-460 Ціна : 1.40 р. ББК : 32.844.1 Предметні рубрики: Мікросхеми-- Виробництво-- Технологічні процеси Мікропроцесори-- Виробництво-- Технологічні процеси Географіч. рубрики: Ключові слова (''Вільн.індекс.''): микросхемы--технологические процессы--микропроцессоры--оксидные слои--оксидні шари--термическая диффузия--термічна дифузія--эпитаксиальные полупроводниковые слои--епітаксиальні напівпровідникові шари--ионное легирование--іонне легування--литографические процессы--літографічні процеси--литографические шаблоны--літографічні шаблони--тонкопленочные элементы--тонкоплівкові елементи--герметизация интегральных микросхем--герметизація інтегральних мікросхем--полупроводниковые интегральные схемы--напівпровідникові інтегральні мікросхеми--эффективность технологических процессов--ефективність технологічних процесів--гибридные интегральные микросхемы--гібридні інтегральні мікросхеми Анотація: Физико-технологические процессы изготовления интегральных микросхем и формирования сложных пленочных структур элементов интегральных микроэлектронных устройств. Примірники :ВВ(1) Вільні : ВВ(1) Утримувачі документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича |