Форма документа : Однотомне видання Шифр видання : 621.3.049.77(035)/Г74 Автор(и) : Готра, Зенон Юрьевич Назва : Технология микроэлектронных устройств : справочник Вихідні дані : М.: Радио и связь, 1991 Кільк.характеристики :528 с.: рис., табл. Примітки : Лит.: с. 526 ISBN, Ціна 5-256-00699-1: 4.00 крб УДК : 621.3.049.77(035) ББК : 32.844.1я2 Предметні рубрики: Мікроелектроніка-- Пристрої Географіч. рубрики: Ключові слова (''Вільн.індекс.''): монокристаллические материалы--монокристалічні матеріали--кристаллы полупроводниковых материалов--кристали напівпровідникових матеріалів--полупроводниковые подложки--напівпровідникові підкладки--диффузия--дифузія--технология эпитаксальных слоев--технологія епітаксальних шарів--ионная имплантация--іонна імплантація--технология тонких пленок--технологія тонких плівок--фотошаблоны--фотошаблони--литографические процессы--літографічні процеси--сборка микроэлектронных устройств--складання мікроелектронних пристроїв--герметизация микроэлектронных устройств--герметизація мікроелектронних пристроїв Анотація: Механические, химические, ионные, плазменные, электронно-лучевые и другие методы обработки в технологии микроэлектронных устройств. Примірники : всього : ВВ(1), АБ(1), ФОНД(2) Вільні : ВВ(1), АБ(1), ФОНД(2) Утримувачі документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича |