Форма документа : Однотомне видання Шифр видання : 32.844.1/П52 Автор(и) : Полтавцев, Юрий Гаврилович, Князев, Александр Сергеевич Назва : Технология обработки поверхностей в микроэлектронике Вихідні дані : Киев: Тэхника, 1990 Кільк.характеристики :206 с.: рис., табл. Примітки : Лит.: с. 197-204 ISBN, Ціна 5-335-00572-6: 0.70 р. ББК : 32.844.1 Предметні рубрики: Мікроелектроніка-- Інтегральні мікросхеми-- Технологія Географіч. рубрики: Ключові слова (''Вільн.індекс.''): микроэлектроника--интегральные микросхемы--химическая очистка поверхности--хімічне очищення поверхні--плазмохимическая очистка поверхности--плазмохімічне очищення поверхні--лазерная очистка поверхности--лазерне очищення поверхні--контроль качества очистки поверхности--контроль якості очищення поверхні--рентгенографический метод контроля--рентгенографічний метод контролю Анотація: Освещена технология очистки поверхностей кремниевых пластин в производстве интегральных схем. Примірники :ВВ(1) Вільні : ВВ(1) Утримувачі документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича Дод.точки доступу: Князев, Александр Сергеевич