Форма документа : Однотомне видання Шифр видання : 32.844.1/С89 Автор(и) : Сугано, Такуо, Икома, Тосиаки, Танкэси, Ёсиюки Назва : Введение в микроэлектронику Вихідні дані : Москва: Мир, 1988 Кільк.характеристики :320 с.: рис., табл. Примітки : Предм. указ.: с. 318-319 ISBN, Ціна 5-03-001109-9: 1.80 р. ББК : 32.844.1 Предметні рубрики: Мікроелектроніка-- Інтегральні мікросхеми Напівпровідники-- Напівпровідникові прилади-- Технології Географіч. рубрики: Ключові слова (''Вільн.індекс.''): микроэлектроника--интегральные микросхемы--полупроводники--полупроводниковые приборы--развитие микроэлектроники--розвиток мікроелектроніки--электрические свойства полупроводников--електричні властивості напівпровідників--полевые транзисторы--польові транзистори--литография--літографія--травление рисунка--травлення малюнка--моделирование технологических процессов--моделювання технологічних процесів--структуры полупроводниковых интегральных схем--структури напівпровідникових інтегральних схем--физика перехода джозефсона--фізика переходу джозефсона Анотація: Методы конструирования, технология производства, применение интегральных схем, обеспечивающей получение бездефектных приборов. Примірники :ВВ(1) Вільні : ВВ(1) Утримувачі документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича Дод.точки доступу: Икома, Тосиаки; Танкэси, Ёсиюки; Комаров, В. В. \пер.\; Панюков, М. Е. \пер.\; Ржанов, В. Г. \ред.\