Зведений каталог Житомирської обласної універсальної наукової бібліотеки ім. О. Ольжича та бібліотек Житомирської області

Про нас

Електронний депозитарій LIBO

Зведений каталог України

Базы данных

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича- результаты поиска

Вид поиска

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Цінні та рідкісні видання ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Звягельська бібліотека ЗМР

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: <.>K=епітаксіальні шари<.>

Общее количество найденных документов : 1

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 621.3.049.77(035)/Г74
Автор(ы) : Готра, Зенон Юрьевич
Заглавие : Справочник по технологии микроэлектронных устройств
Выходные данные : Л.: Каменяр, 1986
Колич.характеристики :287 с.: рис., табл.
Примечания : Лит.: с. 284-285
Цена : 1.00 р.
УДК : 621.3.049.77(035)
ББК : 32.844.1я2
Предметные рубрики: Мікроелектроніка-- Пристрої
Географич. рубрики:
фывфывфыв (''Своб.индексиров.''): структура кристаллического твердого тела--структура кристалічного твердого тіла--очистка полупроводниковых материалов--очистка напівпровідникових матеріалів--обработка полупроводниковых материалов--обробка напівпровідникових матеріалів--полупроводниковые подложки--напівпровідникові підкладки--диффузия--дифузія--эпитаксиальные слои--епітаксіальні шари--фотошаблоны--фотошаблони--литографические процессы--літографічні процеси--тонкие пленки--тонкі плівки--сборка микроэлектронных устройств--складання мікроелектронних пристроїв
Аннотация: Данные о материалах, которые применяются при производстве микроэлектронных устройств, о способах их очистки и обработки.
Экземпляры : всего : ВВ(1), АБ(1)
Свободны : ВВ(1), АБ(1)
Найти похожие

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)