Про нас Електронний депозитарій LIBO Зведений каталог України
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича- результаты поиска

Вид поиска
Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича
Цінні та рідкісні видання ЖОУНБ ім. О. Ольжича
Андрушівська ЦРБ
Баранівська ЦРБ
Бердичівська МЦБС
Бердичівська ЦРБ
Житомирська МЦБС
Житомирська ЦРБ
Коростенська МЦБС
Коростенська ЦРБ
Народицька ЦРБ
Звягельська бібліотека ЗМР
Малинська ЦРБ
Овруцька ЦРБ
Олевська ЦРБ
Радомишльська ЦРБ
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: <.>K=мікрозонди<.>
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 621.3.049.77/Б88
Автор(ы) : Броудай, Ивор, Мерей, Джулиус
Заглавие : Физические основы микротехнологии
Параллельн. заглавия :The Physics of Microfabrication
Выходные данные : М.: Мир, 1985
Колич.характеристики :496 с.: рис., табл.
Примечания : Прил.: с. 460-664. - Лит.: с. 465-483. - Предм. указ.: с. 484-492
Цена : 2.60 р.
УДК : 621.3.049.77
ББК : 32.844.1
Предметные рубрики: Мікроелектроніка-- Мікросхемотехніка
Географич. рубрики:
Аннотация: Технологические процессы микроэлектроники, включая субмикронную литографию, сухое травление, лазерный и электронно-лучевой отжиг.
Экземпляры :ВВ(1)
Свободны : ВВ(1)
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
УДК-навигатор
ББК-навигатор
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)