Зведений каталог Житомирської обласної універсальної наукової бібліотеки ім. О. Ольжича та бібліотек Житомирської області

Про нас

Електронний депозитарій LIBO

Зведений каталог України

Базы данных

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича- результаты поиска

Вид поиска

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Цінні та рідкісні видання ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Звягельська бібліотека ЗМР

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: <.>K=технологія епітаксальних шарів<.>

Общее количество найденных документов : 1

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 621.3.049.77(035)/Г74
Автор(ы) : Готра, Зенон Юрьевич
Заглавие : Технология микроэлектронных устройств : справочник
Выходные данные : М.: Радио и связь, 1991
Колич.характеристики :528 с.: рис., табл.
Примечания : Лит.: с. 526
ISBN, Цена 5-256-00699-1: 4.00 крб
УДК : 621.3.049.77(035)
ББК : 32.844.1я2
Предметные рубрики: Мікроелектроніка-- Пристрої
Географич. рубрики:
фывфывфыв (''Своб.индексиров.''): монокристаллические материалы--монокристалічні матеріали--кристаллы полупроводниковых материалов--кристали напівпровідникових матеріалів--полупроводниковые подложки--напівпровідникові підкладки--диффузия--дифузія--технология эпитаксальных слоев--технологія епітаксальних шарів--ионная имплантация--іонна імплантація--технология тонких пленок--технологія тонких плівок--фотошаблоны--фотошаблони--литографические процессы--літографічні процеси--сборка микроэлектронных устройств--складання мікроелектронних пристроїв--герметизация микроэлектронных устройств--герметизація мікроелектронних пристроїв
Аннотация: Механические, химические, ионные, плазменные, электронно-лучевые и другие методы обработки в технологии микроэлектронных устройств.
Экземпляры : всего : ВВ(1), АБ(1), ФОНД(2)
Свободны : ВВ(1), АБ(1), ФОНД(2)
Найти похожие

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)