Зведений каталог Житомирської обласної універсальної наукової бібліотеки ім. О. Ольжича та бібліотек Житомирської області

Про нас

Електронний депозитарій LIBO

Зведений каталог України

Базы данных

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича- результаты поиска

Вид поиска

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Цінні та рідкісні видання ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Звягельська бібліотека ЗМР

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: <.>K=тонкі плівки<.>

Общее количество найденных документов : 5
Показаны документы с 1 по 5

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 32.844.1/М80
Автор(ы) : Моряков, Олег Сергеевич
Заглавие : Термические процессы в микроэлектронике : учеб. пособие
Выходные данные : Москва: Высш. шк., 1987
Колич.характеристики :199 с.: рис., табл.
Примечания : Лит.: с. 197
Цена : 0.40 р.
ББК : 32.844.1
Предметные рубрики: Напівпровідникові прилади-- Інтегральні мікросхеми-- Виготовлення
Географич. рубрики:
фывфывфыв (''Своб.индексиров.''): полупроводниковые приборы--интегральные микросхемы--контрольно-измерительные приборы--контрольно-вимірювальні прилади--технологические процессы--технологічні процеси--термические процессы--термічні процеси--элионная технология--еліонна технологія--фотолитография--фотолітографія--вакуумная техника--вакумна техніка--тонкие пленки--тонкі плівки--сборочные работы--складальні роботи--герметизация полупроводниковых приборов--герметизація напівпровідникових приладів
Аннотация: Процессы изготовления полупроводниковых приборов и микросхем диффузией, планарной и элитной технологией.
Экземпляры :ВВ(1)
Свободны : ВВ(1)
Найти похожие

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : м20/М 20
Автор(ы) : Малышева, Идея Александровна
Заглавие : Технология производства интегральных микросхем : учебник . -2-е изд., перераб. и доп.
Выходные данные : Москва: Радио и связь, 1991
Колич.характеристики :344 с.: рис., табл.
Примечания : Прил.: с. 315-337. - Лит.: с. 338. - Предм. указ.: с. 338-342
ISBN, Цена 5-256-00861-7: 2.50 крб
ББК : 32.844.1
Предметные рубрики: Інтегральні мікросхеми-- Технологічні процеси-- Виготовлення
Географич. рубрики:
фывфывфыв (''Своб.индексиров.''): интегральные микросхемы--технологические процессы--технологии микросхем--изготовление пластин--виготовлення пластин--очистка подложек--очищення підкладок--топология микросхем--топологія мікросхем--тонкие пленки--тонкі плівки--полупроводниковые слои--напівпровідникові шари--диффузное легирование--дифузне легування--ионное легирование--іонне легування--биполярные структуры--біполярні структури--сборка микросхем--складання мікросхем
Аннотация: Технологические процессы производства микросхем: механической обработки полупроводников и диэлектриков, очистка пластин и подложек.
Экземпляры :ВВ(1)
Свободны : ВВ(1)
Найти похожие

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 621.3.049.77(035)/Г74
Автор(ы) : Готра, Зенон Юрьевич
Заглавие : Справочник по технологии микроэлектронных устройств
Выходные данные : Л.: Каменяр, 1986
Колич.характеристики :287 с.: рис., табл.
Примечания : Лит.: с. 284-285
Цена : 1.00 р.
УДК : 621.3.049.77(035)
ББК : 32.844.1я2
Предметные рубрики: Мікроелектроніка-- Пристрої
Географич. рубрики:
фывфывфыв (''Своб.индексиров.''): структура кристаллического твердого тела--структура кристалічного твердого тіла--очистка полупроводниковых материалов--очистка напівпровідникових матеріалів--обработка полупроводниковых материалов--обробка напівпровідникових матеріалів--полупроводниковые подложки--напівпровідникові підкладки--диффузия--дифузія--эпитаксиальные слои--епітаксіальні шари--фотошаблоны--фотошаблони--литографические процессы--літографічні процеси--тонкие пленки--тонкі плівки--сборка микроэлектронных устройств--складання мікроелектронних пристроїв
Аннотация: Данные о материалах, которые применяются при производстве микроэлектронных устройств, о способах их очистки и обработки.
Экземпляры : всего : ВВ(1), АБ(1)
Свободны : ВВ(1), АБ(1)
Найти похожие

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 621.3.049.77(075)/Б82
Автор(ы) : Борисенко, Александр Сергеевич, Бавыкин, Николай Иванович
Заглавие : Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств : учебник
Выходные данные : М.: Машиностроение, 1983
Колич.характеристики :: рис., табл.
Примечания : Лит.: с. 318-319
Цена : 1.00 р.
УДК : 621.3.049.77(075)
ББК : 32.844.1я72
Предметные рубрики: Мікроелектроніка-- Інтегральні мікросхеми-- Технологія виробництва-- Устаткування
Географич. рубрики:
Аннотация: Теоретические и практические вопросы технологии производства интегральных микросхем, печатных плат.
Экземпляры :ВВ(1)
Свободны : ВВ(1)
Найти похожие

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 621.3.049.77/Б88
Автор(ы) : Броудай, Ивор, Мерей, Джулиус
Заглавие : Физические основы микротехнологии
Параллельн. заглавия :The Physics of Microfabrication
Выходные данные : М.: Мир, 1985
Колич.характеристики :496 с.: рис., табл.
Примечания : Прил.: с. 460-664. - Лит.: с. 465-483. - Предм. указ.: с. 484-492
Цена : 2.60 р.
УДК : 621.3.049.77
ББК : 32.844.1
Предметные рубрики: Мікроелектроніка-- Мікросхемотехніка
Географич. рубрики:
Аннотация: Технологические процессы микроэлектроники, включая субмикронную литографию, сухое травление, лазерный и электронно-лучевой отжиг.
Экземпляры :ВВ(1)
Свободны : ВВ(1)
Найти похожие

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)