Зведений каталог Житомирської обласної універсальної наукової бібліотеки ім. О. Ольжича та бібліотек Житомирської області

Про нас

Електронний депозитарій LIBO

Зведений каталог України

Базы данных

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича- результаты поиска

Вид поиска

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Цінні та рідкісні видання ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Звягельська бібліотека ЗМР

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: <.>K=плазмохімічне очищення поверхні<.>

Общее количество найденных документов : 1

32.844.1
П52

Полтавцев, Юрий Гаврилович.
Технология обработки поверхностей в микроэлектронике [] / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев. - Киев : Тэхника, 1990. - 206 с. : рис., табл. - Лит.: с. 197-204. - ISBN 5-335-00572-6 : 0.70 р.

ББК 32.844.1
Рубрики: Мікроелектроніка--Інтегральні мікросхеми--Технологія--Практичні посібники

фывфывфыв:
микроэлектроника -- интегральные микросхемы -- химическая очистка поверхности -- хімічне очищення поверхні -- плазмохимическая очистка поверхности -- плазмохімічне очищення поверхні -- лазерная очистка поверхности -- лазерне очищення поверхні -- контроль качества очистки поверхности -- контроль якості очищення поверхні -- рентгенографический метод контроля -- рентгенографічний метод контролю
Аннотация: Освещена технология очистки поверхностей кремниевых пластин в производстве интегральных схем.

Держатели документа:
ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Доп.точки доступа:
Князев, Александр Сергеевич
Экземпляры всего: 1
ВВ (1)
Свободны: ВВ (1)
Найти похожие

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)