Зведений каталог Житомирської обласної універсальної наукової бібліотеки ім. О. Ольжича та бібліотек Житомирської області

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: <.>K=протонно-лучевая литография<.>

Общее количество найденных документов : 1

Пономарев, Александр Георгиевич.
Установка протонно-лучевой литографии на базе электростатического ускорителя для фабрикации 3D микро- и наноструктур [] / А. Г. Пономарев, В. А. Ребров, С. В. Колинько // Наука та інновації = Science and Innovation. - 2019. - N 4. - С. 62-69 : рис. - Лит.: с. 67-69 . - ISSN 1815-2066
Рубрики: Наноелектроніка--Поверхнево-активні речовини
фывфывфыв:
наноэлектроника -- поверхностно-активные вещества -- протонно-лучевая литография -- протонно-променева літографія -- электростатический ускоритель -- електростатичний прискорювач -- магнитная квадрупольная линза -- магнітна квадрупольна лінза

Держатели документа:
ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Доп.точки доступа:
Ребров, Владимир Андреевич; Колинько, Сергей Владимирович

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ВВ (1)
Свободны: ВВ (1)

Найти похожие

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)