Зведений каталог Житомирської обласної універсальної наукової бібліотеки ім. О. Ольжича та бібліотек Житомирської області

Про нас

Електронний депозитарій LIBO

Зведений каталог України

Бази даних

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича- результати пошуку

Вид пошуку

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Цінні та рідкісні видання ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Звягельська бібліотека ЗМР

Зона пошуку

Формат представлення знайдених документів:
повний	інформаційний	короткий

Пошуковий запит: <.>K=дифузія в кремнії<.>

Загальна кількість знайдених документів : 1

Форма документа : Однотомне видання
Шифр видання : 32.844.1/М78
Назва : МОП-СБИС. Моделирование элементов и технологических процессов
Паралельн. назви :Process and Device Simulaion for MOS-VLSI Circuits
Вихідні дані : Москва: Радио и связь, 1988
Кільк.характеристики :496 с.: рис., табл.
Примітки : Лит.: с. 488-490. - Список работ, пер. на рус. яз.: с. 491
ISBN, Ціна 5-256-00130-2: 4.10 р.
ББК : 32.844.1
Предметні рубрики: Інтегральні мікросхеми-- Виготовлення
Математичне моделювання-- Технологічні процеси
Географіч. рубрики:
Ключові слова (''Вільн.індекс.''): интегральные микросхемы--математическое моделирование--технологические процессы--диффузия в кремнии--дифузія в кремнії--термическое окисление кремния--термічне окислення кремнію--хлорированные окислы--хлоровані оксиди--ионная имплантация--іонна імплантація--пучковый отжиг имплантированного кремния--пучковий отжиг імплантованого кремнію--контроль материалов--контроль матеріалів--поликристаллические кремниевые структуры--полікристалічні кремнієві структури--двумерное моделирование--двовимірне моделювання--численное моделирование процессов--чисельне моделювання процесів--оптическая литография--оптична літографія--анализ планарных приборов--аналіз планарних приладів--метод конечных элементов--метод кінцевих елементів
Анотація: Модели диффузии, ионной имплантации, окисления, отжига, литографии, травления и модели, описывающие функциональные МОП-транзисторов.
Примірники :ВВ(1)
Вільні : ВВ(1)
Знайти схожі

© Міжнародна Асоціація користувачів і розробників електронних бібліотек і нових інформаційних технологій
(Асоціація ЕБНІТ)