Зведений каталог Житомирської обласної універсальної наукової бібліотеки ім. О. Ольжича та бібліотек Житомирської області

Про нас

Електронний депозитарій LIBO

Зведений каталог України

Бази даних

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича- результати пошуку

Вид пошуку

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Цінні та рідкісні видання ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Звягельська бібліотека ЗМР

Зона пошуку

Формат представлення знайдених документів:
повний	інформаційний	короткий

Пошуковий запит: <.>K=електронний кремній<.>

Загальна кількість знайдених документів : 1

Форма документа : Багатотомне видання
Шифр видання : 32.844.1/Т38
Автор(и) : Пирс К., Адамс А., Кац Л., Цай Джю
Назва : Технология СБИС = VLSI Technology: в 2 кн./ под ред. С. Зи. Кн. 1
Вихідні дані : Москва: Мир, 1986 - 1986
Примітки : Библиогр. в конце глав. - Авт. зазначено на звороті тит. арк.
Ціна : 3.0 р.
ББК : 32.844.1
Предметні рубрики: Електронні прилади-- Інтегральні мікросхеми-- Технологія
Ключові слова (''Вільн.індекс.''): электронные устройства--интегральные микросхемы--электронный кремний--електронний кремній--рост кристаллов--ріст кристалів--эпитаксия--епітаксія--осаждение диэлектрических пленок--осадження діелектричних плівок--окисление--окислення--диффузия--дифузія--ионная имплантация--іонна імплантація--литография--літографія
Анотація: Получение микрокристаллов кремния, подготовка подложек, выращивания эпитаксиальных слоев, осаждения пленок.
Примірники :ВВ(1)
Вільні : ВВ(1)
Знайти схожі

© Міжнародна Асоціація користувачів і розробників електронних бібліотек і нових інформаційних технологій
(Асоціація ЕБНІТ)