Зведений каталог Житомирської обласної універсальної наукової бібліотеки ім. О. Ольжича та бібліотек Житомирської області

Про нас

Електронний депозитарій LIBO

Зведений каталог України

Бази даних

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича- результати пошуку

Вид пошуку

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Цінні та рідкісні видання ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Звягельська бібліотека ЗМР

Зона пошуку

Формат представлення знайдених документів:
повний	інформаційний	короткий

Пошуковий запит: <.>K=кристали напівпровідникових матеріалів<.>

Загальна кількість знайдених документів : 1

Форма документа : Однотомне видання
Шифр видання : 621.3.049.77(035)/Г74
Автор(и) : Готра, Зенон Юрьевич
Назва : Технология микроэлектронных устройств : справочник
Вихідні дані : М.: Радио и связь, 1991
Кільк.характеристики :528 с.: рис., табл.
Примітки : Лит.: с. 526
ISBN, Ціна 5-256-00699-1: 4.00 крб
УДК : 621.3.049.77(035)
ББК : 32.844.1я2
Предметні рубрики: Мікроелектроніка-- Пристрої
Географіч. рубрики:
Ключові слова (''Вільн.індекс.''): монокристаллические материалы--монокристалічні матеріали--кристаллы полупроводниковых материалов--кристали напівпровідникових матеріалів--полупроводниковые подложки--напівпровідникові підкладки--диффузия--дифузія--технология эпитаксальных слоев--технологія епітаксальних шарів--ионная имплантация--іонна імплантація--технология тонких пленок--технологія тонких плівок--фотошаблоны--фотошаблони--литографические процессы--літографічні процеси--сборка микроэлектронных устройств--складання мікроелектронних пристроїв--герметизация микроэлектронных устройств--герметизація мікроелектронних пристроїв
Анотація: Механические, химические, ионные, плазменные, электронно-лучевые и другие методы обработки в технологии микроэлектронных устройств.
Примірники : всього : ВВ(1), АБ(1), ФОНД(2)
Вільні : ВВ(1), АБ(1), ФОНД(2)
Знайти схожі

© Міжнародна Асоціація користувачів і розробників електронних бібліотек і нових інформаційних технологій
(Асоціація ЕБНІТ)