Зведений каталог Житомирської обласної універсальної наукової бібліотеки ім. О. Ольжича та бібліотек Житомирської області

Про нас

Електронний депозитарій LIBO

Зведений каталог України

Бази даних

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича- результати пошуку

Вид пошуку

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Цінні та рідкісні видання ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Звягельська бібліотека ЗМР

Зона пошуку

Формат представлення знайдених документів:
повний	інформаційний	короткий

Відсортувати знайдені документи за:
автором	назвою	роком видання	типом документа

Пошуковий запит: <.>K=литографические процессы<.>

Загальна кількість знайдених документів : 3
Показані документи с 1 за 3

Форма документа : Однотомне видання
Шифр видання : 621.3.049.77(035)/Г74
Автор(и) : Готра, Зенон Юрьевич
Назва : Технология микроэлектронных устройств : справочник
Вихідні дані : М.: Радио и связь, 1991
Кільк.характеристики :528 с.: рис., табл.
Примітки : Лит.: с. 526
ISBN, Ціна 5-256-00699-1: 4.00 крб
УДК : 621.3.049.77(035)
ББК : 32.844.1я2
Предметні рубрики: Мікроелектроніка-- Пристрої
Географіч. рубрики:
Ключові слова (''Вільн.індекс.''): монокристаллические материалы--монокристалічні матеріали--кристаллы полупроводниковых материалов--кристали напівпровідникових матеріалів--полупроводниковые подложки--напівпровідникові підкладки--диффузия--дифузія--технология эпитаксальных слоев--технологія епітаксальних шарів--ионная имплантация--іонна імплантація--технология тонких пленок--технологія тонких плівок--фотошаблоны--фотошаблони--литографические процессы--літографічні процеси--сборка микроэлектронных устройств--складання мікроелектронних пристроїв--герметизация микроэлектронных устройств--герметизація мікроелектронних пристроїв
Анотація: Механические, химические, ионные, плазменные, электронно-лучевые и другие методы обработки в технологии микроэлектронных устройств.
Примірники : всього : ВВ(1), АБ(1), ФОНД(2)
Вільні : ВВ(1), АБ(1), ФОНД(2)
Знайти схожі

Форма документа : Однотомне видання
Шифр видання : 621.3.049.77(035)/Г74
Автор(и) : Готра, Зенон Юрьевич
Назва : Справочник по технологии микроэлектронных устройств
Вихідні дані : Л.: Каменяр, 1986
Кільк.характеристики :287 с.: рис., табл.
Примітки : Лит.: с. 284-285
Ціна : 1.00 р.
УДК : 621.3.049.77(035)
ББК : 32.844.1я2
Предметні рубрики: Мікроелектроніка-- Пристрої
Географіч. рубрики:
Ключові слова (''Вільн.індекс.''): структура кристаллического твердого тела--структура кристалічного твердого тіла--очистка полупроводниковых материалов--очистка напівпровідникових матеріалів--обработка полупроводниковых материалов--обробка напівпровідникових матеріалів--полупроводниковые подложки--напівпровідникові підкладки--диффузия--дифузія--эпитаксиальные слои--епітаксіальні шари--фотошаблоны--фотошаблони--литографические процессы--літографічні процеси--тонкие пленки--тонкі плівки--сборка микроэлектронных устройств--складання мікроелектронних пристроїв
Анотація: Данные о материалах, которые применяются при производстве микроэлектронных устройств, о способах их очистки и обработки.
Примірники : всього : ВВ(1), АБ(1)
Вільні : ВВ(1), АБ(1)
Знайти схожі

Форма документа : Однотомне видання
Шифр видання : 32.844.1/Ч49
Автор(и) : Черняев, Владимир Николаевич
Назва : Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров : учебник для вузов . -2-е изд., перераб. и доп.
Вихідні дані : Москва: Радио и связь, 1987
Кільк.характеристики :464 с.: рис., табл.
Примітки : Лит.: с. 455. - Предм. указ.: с. 456-460
Ціна : 1.40 р.
ББК : 32.844.1
Предметні рубрики: Мікросхеми-- Виробництво-- Технологічні процеси
Мікропроцесори-- Виробництво-- Технологічні процеси
Географіч. рубрики:
Ключові слова (''Вільн.індекс.''): микросхемы--технологические процессы--микропроцессоры--оксидные слои--оксидні шари--термическая диффузия--термічна дифузія--эпитаксиальные полупроводниковые слои--епітаксиальні напівпровідникові шари--ионное легирование--іонне легування--литографические процессы--літографічні процеси--литографические шаблоны--літографічні шаблони--тонкопленочные элементы--тонкоплівкові елементи--герметизация интегральных микросхем--герметизація інтегральних мікросхем--полупроводниковые интегральные схемы--напівпровідникові інтегральні мікросхеми--эффективность технологических процессов--ефективність технологічних процесів--гибридные интегральные микросхемы--гібридні інтегральні мікросхеми
Анотація: Физико-технологические процессы изготовления интегральных микросхем и формирования сложных пленочных структур элементов интегральных микроэлектронных устройств.
Примірники :ВВ(1)
Вільні : ВВ(1)
Знайти схожі

© Міжнародна Асоціація користувачів і розробників електронних бібліотек і нових інформаційних технологій
(Асоціація ЕБНІТ)