Зведений каталог Житомирської обласної універсальної наукової бібліотеки ім. О. Ольжича та бібліотек Житомирської області

Про нас

Електронний депозитарій LIBO

Зведений каталог України

Бази даних

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича- результати пошуку

Вид пошуку

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Цінні та рідкісні видання ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Звягельська бібліотека ЗМР

Зона пошуку

Формат представлення знайдених документів:
повний	інформаційний	короткий

Пошуковий запит: <.>K=літографічні методи<.>

Загальна кількість знайдених документів : 1

Форма документа : Однотомне видання
Шифр видання : 621.3.049.77/Б88
Автор(и) : Броудай, Ивор, Мерей, Джулиус
Назва : Физические основы микротехнологии
Паралельн. назви :The Physics of Microfabrication
Вихідні дані : М.: Мир, 1985
Кільк.характеристики :496 с.: рис., табл.
Примітки : Прил.: с. 460-664. - Лит.: с. 465-483. - Предм. указ.: с. 484-492
Ціна : 2.60 р.
УДК : 621.3.049.77
ББК : 32.844.1
Предметні рубрики: Мікроелектроніка-- Мікросхемотехніка
Географіч. рубрики:
Анотація: Технологические процессы микроэлектроники, включая субмикронную литографию, сухое травление, лазерный и электронно-лучевой отжиг.
Примірники :ВВ(1)
Вільні : ВВ(1)
Знайти схожі

© Міжнародна Асоціація користувачів і розробників електронних бібліотек і нових інформаційних технологій
(Асоціація ЕБНІТ)