Зведений каталог Житомирської обласної універсальної наукової бібліотеки ім. О. Ольжича та бібліотек Житомирської області

Про нас

Електронний депозитарій LIBO

Зведений каталог України

Бази даних

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича- результати пошуку

Вид пошуку

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Цінні та рідкісні видання ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Звягельська бібліотека ЗМР

Зона пошуку

Формат представлення знайдених документів:
повний	інформаційний	короткий

Пошуковий запит: <.>K=літографічні шаблони<.>

Загальна кількість знайдених документів : 1

Форма документа : Однотомне видання
Шифр видання : 32.844.1/Ч49
Автор(и) : Черняев, Владимир Николаевич
Назва : Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров : учебник для вузов . -2-е изд., перераб. и доп.
Вихідні дані : Москва: Радио и связь, 1987
Кільк.характеристики :464 с.: рис., табл.
Примітки : Лит.: с. 455. - Предм. указ.: с. 456-460
Ціна : 1.40 р.
ББК : 32.844.1
Предметні рубрики: Мікросхеми-- Виробництво-- Технологічні процеси
Мікропроцесори-- Виробництво-- Технологічні процеси
Географіч. рубрики:
Ключові слова (''Вільн.індекс.''): микросхемы--технологические процессы--микропроцессоры--оксидные слои--оксидні шари--термическая диффузия--термічна дифузія--эпитаксиальные полупроводниковые слои--епітаксиальні напівпровідникові шари--ионное легирование--іонне легування--литографические процессы--літографічні процеси--литографические шаблоны--літографічні шаблони--тонкопленочные элементы--тонкоплівкові елементи--герметизация интегральных микросхем--герметизація інтегральних мікросхем--полупроводниковые интегральные схемы--напівпровідникові інтегральні мікросхеми--эффективность технологических процессов--ефективність технологічних процесів--гибридные интегральные микросхемы--гібридні інтегральні мікросхеми
Анотація: Физико-технологические процессы изготовления интегральных микросхем и формирования сложных пленочных структур элементов интегральных микроэлектронных устройств.
Примірники :ВВ(1)
Вільні : ВВ(1)
Знайти схожі

© Міжнародна Асоціація користувачів і розробників електронних бібліотек і нових інформаційних технологій
(Асоціація ЕБНІТ)