Зведений каталог Житомирської обласної універсальної наукової бібліотеки ім. О. Ольжича та бібліотек Житомирської області

Про нас

Електронний депозитарій LIBO

Зведений каталог України

Бази даних

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича- результати пошуку

Вид пошуку

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Цінні та рідкісні видання ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Звягельська бібліотека ЗМР

Зона пошуку

Формат представлення знайдених документів:
повний	інформаційний	короткий

Пошуковий запит: <.>K=протонно-лучевая литография<.>

Загальна кількість знайдених документів : 1

Форма документа : Стаття із журналу
Шифр видання :
Автор(и) : Пономарев, Александр Георгиевич, Ребров, Владимир Андреевич, Колинько, Сергей Владимирович
Назва : Установка протонно-лучевой литографии на базе электростатического ускорителя для фабрикации 3D микро- и наноструктур
Місце публікування : Наука та інновації. - К.: Академперіодика, 2019. - N 4. - С. 62-69: рис. - ISSN 18152066 (Шифр nati/2019/4). - ISSN 18152066
Примітки : Лит.: с. 67-69
Предметні рубрики: Наноелектроніка-- Поверхнево-активні речовини
Ключові слова (''Вільн.індекс.''): наноэлектроника--поверхностно-активные вещества--протонно-лучевая литография--протонно-променева літографія--электростатический ускоритель--електростатичний прискорювач--магнитная квадрупольная линза--магнітна квадрупольна лінза
Знайти схожі

© Міжнародна Асоціація користувачів і розробників електронних бібліотек і нових інформаційних технологій
(Асоціація ЕБНІТ)