Зведений каталог Житомирської обласної універсальної наукової бібліотеки ім. О. Ольжича та бібліотек Житомирської області

Про нас

Електронний депозитарій LIBO

Зведений каталог України

Бази даних

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича- результати пошуку

Вид пошуку

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Цінні та рідкісні видання ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Звягельська бібліотека ЗМР

Зона пошуку

Формат представлення знайдених документів:
повний	інформаційний	короткий

Пошуковий запит: <.>K=хімічне очищення поверхні<.>

Загальна кількість знайдених документів : 1

Форма документа : Однотомне видання
Шифр видання : 32.844.1/П52
Автор(и) : Полтавцев, Юрий Гаврилович, Князев, Александр Сергеевич
Назва : Технология обработки поверхностей в микроэлектронике
Вихідні дані : Киев: Тэхника, 1990
Кільк.характеристики :206 с.: рис., табл.
Примітки : Лит.: с. 197-204
ISBN, Ціна 5-335-00572-6: 0.70 р.
ББК : 32.844.1
Предметні рубрики: Мікроелектроніка-- Інтегральні мікросхеми-- Технологія
Географіч. рубрики:
Ключові слова (''Вільн.індекс.''): микроэлектроника--интегральные микросхемы--химическая очистка поверхности--хімічне очищення поверхні--плазмохимическая очистка поверхности--плазмохімічне очищення поверхні--лазерная очистка поверхности--лазерне очищення поверхні--контроль качества очистки поверхности--контроль якості очищення поверхні--рентгенографический метод контроля--рентгенографічний метод контролю
Анотація: Освещена технология очистки поверхностей кремниевых пластин в производстве интегральных схем.
Примірники :ВВ(1)
Вільні : ВВ(1)
Знайти схожі

© Міжнародна Асоціація користувачів і розробників електронних бібліотек і нових інформаційних технологій
(Асоціація ЕБНІТ)