Зведений каталог Житомирської обласної універсальної наукової бібліотеки ім. О. Ольжича та бібліотек Житомирської області

Про нас

Електронний депозитарій LIBO

Зведений каталог України

Бази даних

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича- результати пошуку

Вид пошуку

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Цінні та рідкісні видання ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Звягельська бібліотека ЗМР

Зона пошуку

Формат представлення знайдених документів:
повний	інформаційний	короткий

Пошуковий запит: <.>K=элионная технология<.>

Загальна кількість знайдених документів : 1

Форма документа : Однотомне видання
Шифр видання : 32.844.1/М80
Автор(и) : Моряков, Олег Сергеевич
Назва : Термические процессы в микроэлектронике : учеб. пособие
Вихідні дані : Москва: Высш. шк., 1987
Кільк.характеристики :199 с.: рис., табл.
Примітки : Лит.: с. 197
Ціна : 0.40 р.
ББК : 32.844.1
Предметні рубрики: Напівпровідникові прилади-- Інтегральні мікросхеми-- Виготовлення
Географіч. рубрики:
Ключові слова (''Вільн.індекс.''): полупроводниковые приборы--интегральные микросхемы--контрольно-измерительные приборы--контрольно-вимірювальні прилади--технологические процессы--технологічні процеси--термические процессы--термічні процеси--элионная технология--еліонна технологія--фотолитография--фотолітографія--вакуумная техника--вакумна техніка--тонкие пленки--тонкі плівки--сборочные работы--складальні роботи--герметизация полупроводниковых приборов--герметизація напівпровідникових приладів
Анотація: Процессы изготовления полупроводниковых приборов и микросхем диффузией, планарной и элитной технологией.
Примірники :ВВ(1)
Вільні : ВВ(1)
Знайти схожі

© Міжнародна Асоціація користувачів і розробників електронних бібліотек і нових інформаційних технологій
(Асоціація ЕБНІТ)