Зведений каталог Житомирської обласної універсальної наукової бібліотеки ім. О. Ольжича та бібліотек Житомирської області

Про нас

Електронний депозитарій LIBO

Зведений каталог України

Бази даних

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича- результати пошуку

Вид пошуку

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Цінні та рідкісні видання ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Звягельська бібліотека ЗМР

Зона пошуку

Формат представлення знайдених документів:
повний	інформаційний	короткий

Пошуковий запит: <.>K=дифракційні методи контролю<.>

Загальна кількість знайдених документів : 1

621.3.049.77
Б95

Быстров, Юрий Александрович.
Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве [] / Ю. А. Быстров, Е. А. Колгин, Б. Н. Котлецов. - М. : Радио и связь, 1988. - 168 с. : рис., табл. - Л-ра: с. 162-166. - ISBN 5-256-00006-3 : 0.65 р.

УДК

621.3.049.77

ББК 32.844.1
Рубрики: Інтегральні мікросхеми--Контроль--Практичні посібники

Кл.слова (ненормовані):
визуальний метод контроля -- візуальний метод контролю -- фотоэлектрические методы контроля -- фотоелектричні методи контролю -- телевизионные методы контроля -- телевізійні методи контролю -- дифракционные методы контроля -- дифракційні методи контролю -- качество полупроводниковых пластин -- якість напівпровідникових пластин -- нанесение пленок -- нанесення плівак -- оптическая спектрометрия -- оптична спектрометрія
Анотація: Методы и средства измерения линейных размеров, толщин и глубин топологических элементов интегральных микросхем.

Утримувачі документа:
ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Дод.точки доступу:
Колгин, Евгений Александрович; Котлецов, Борис Николаевич
Примірників всього: 1
ВВ (1)
Свободны: ВВ (1)
Знайти схожі

© Міжнародна Асоціація користувачів і розробників електронних бібліотек і нових інформаційних технологій
(Асоціація ЕБНІТ)