Зведений каталог Житомирської обласної універсальної наукової бібліотеки ім. О. Ольжича та бібліотек Житомирської області

Про нас

Електронний депозитарій LIBO

Зведений каталог України

Бази даних

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича- результати пошуку

Вид пошуку

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Цінні та рідкісні видання ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Звягельська бібліотека ЗМР

Зона пошуку

Формат представлення знайдених документів:
повний	інформаційний	короткий

Відсортувати знайдені документи за:
автором	назвою	роком видання	типом документа

Пошуковий запит: <.>K=тонкие пленки<.>

Загальна кількість знайдених документів : 5
Показані документи с 1 за 5

621.3.049.77(075)
Б82

Борисенко, Александр Сергеевич.
Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств [] : учебник / А. С. Борисенко, Н. И. Бавыкин. - М. : Машиностроение, 1983. - : рис., табл. - Лит.: с. 318-319. - 1.00 р.

УДК

621.3.049.77(075)

ББК 32.844.1я72
Рубрики: Мікроелектроніка--Інтегральні мікросхеми--Технологія виробництва--Устаткування--Навчальні видання

Кл.слова (ненормовані):
тонкопленочные интегральные микросхемы -- тонкоплівкові інтегральні мікросхеми -- тонкие пленки -- тонкі плівки -- рисунок микросхем -- малюнок мікросхем -- фотолитография -- фотолітографія -- толстопленочные интегральные схемы -- товстоплівкові інтегральні мікросхеми -- полупроводниковые микросхемы -- напівпровідникові мікросхеми -- большие интегральные схемы -- великі інтегральні мікросхеми -- печатные платы -- друковані плати -- гибридно-пленочные микросхемы -- гібридно-плівкові мікросхеми -- испытание микроэлектронной аппаратуры -- випробування мікроелектронної апаратури
Анотація: Теоретические и практические вопросы технологии производства интегральных микросхем, печатных плат.

Утримувачі документа:
ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Дод.точки доступу:
Бавыкин, Николай Иванович
Примірників всього: 1
ВВ (1)
Свободны: ВВ (1)
Знайти схожі

621.3.049.77
Б88

Броудай, Ивор.
Физические основы микротехнологии [] = The Physics of Microfabrication / И. Броудай, Дж. Мерей ; пер. с англ.: В. А. Володина, В. С. Першенкова, Б. И. Подлепецкого; под ред. А. В. Шальнова. - М. : Мир, 1985. - 496 с. : рис., табл. - Прил.: с. 460-664. - Лит.: с. 465-483. - Предм. указ.: с. 484-492. - 2.60 р.

УДК

621.3.049.77

ББК 32.844.1
Рубрики: Мікроелектроніка--Мікросхемотехніка--Практичні посібники

Кл.слова (ненормовані):
микроэлектронные приборы -- мікроелектронні прилади -- тонкие пленки -- тонкі плівки -- литографические методы -- літографічні методи -- пучки частиц -- пучки частин -- изготовление микросхем -- виготовлення мікросхем -- микроскопия -- мікроскопія -- микрозонды -- мікрозонди -- лазерное сканирование -- лазерне сканування -- легироание -- легування
Анотація: Технологические процессы микроэлектроники, включая субмикронную литографию, сухое травление, лазерный и электронно-лучевой отжиг.

Утримувачі документа:
ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Дод.точки доступу:
Мерей, Джулиус; Володин, В. А. \пер.\; Першенков, В. С. \пер.\; Подлепецкий, Б. И. \пер.\; Шальнов, А. В. \ред.\
Примірників всього: 1
ВВ (1)
Свободны: ВВ (1)
Знайти схожі

621.3.049.77(035)
Г74

Готра, Зенон Юрьевич.
Справочник по технологии микроэлектронных устройств [] / З. Ю. Готра. - Л. : Каменяр, 1986. - 287 с. : рис., табл. - Лит.: с. 284-285. - 1.00 р.

УДК

621.3.049.77(035)

ББК 32.844.1я2
Рубрики: Мікроелектроніка--Пристрої--Довідкові видання

Кл.слова (ненормовані):
структура кристаллического твердого тела -- структура кристалічного твердого тіла -- очистка полупроводниковых материалов -- очистка напівпровідникових матеріалів -- обработка полупроводниковых материалов -- обробка напівпровідникових матеріалів -- полупроводниковые подложки -- напівпровідникові підкладки -- диффузия -- дифузія -- эпитаксиальные слои -- епітаксіальні шари -- фотошаблоны -- фотошаблони -- литографические процессы -- літографічні процеси -- тонкие пленки -- тонкі плівки -- сборка микроэлектронных устройств -- складання мікроелектронних пристроїв
Анотація: Данные о материалах, которые применяются при производстве микроэлектронных устройств, о способах их очистки и обработки.

Утримувачі документа:
ЖОУНБ ім. О. Ольжича
Примірників всього: 2
ВВ (1), АБ (1)
Свободны: ВВ (1), АБ (1)
Знайти схожі

32.844.1
М80

Моряков, Олег Сергеевич.
Термические процессы в микроэлектронике [] : учеб. пособие / О. С. Моряков. - Москва : Высш. шк., 1987. - 199 с. : рис., табл. - Лит.: с. 197. - 0.40 р.

ББК 32.844.1
Рубрики: Напівпровідникові прилади--Інтегральні мікросхеми--Виготовлення--Навчальні видання для підвищення кваліфікації

Кл.слова (ненормовані):
полупроводниковые приборы -- интегральные микросхемы -- контрольно-измерительные приборы -- контрольно-вимірювальні прилади -- технологические процессы -- технологічні процеси -- термические процессы -- термічні процеси -- элионная технология -- еліонна технологія -- фотолитография -- фотолітографія -- вакуумная техника -- вакумна техніка -- тонкие пленки -- тонкі плівки -- сборочные работы -- складальні роботи -- герметизация полупроводниковых приборов -- герметизація напівпровідникових приладів
Анотація: Процессы изготовления полупроводниковых приборов и микросхем диффузией, планарной и элитной технологией.

Утримувачі документа:
ЖОУНБ ім. О. Ольжича
Примірників всього: 1
ВВ (1)
Свободны: ВВ (1)
Знайти схожі

м20
М 20

Малышева, Идея Александровна.
Технология производства интегральных микросхем [] : учебник / И. А. Малышева. - 2-е изд., перераб. и доп. - Москва : Радио и связь, 1991. - 344 с. : рис., табл. - Прил.: с. 315-337. - Лит.: с. 338. - Предм. указ.: с. 338-342. - ISBN 5-256-00861-7 : 2.50 крб

ББК 32.844.1
РУБ м20
Рубрики: Інтегральні мікросхеми--Технологічні процеси--Виготовлення--Навчальні видання

Кл.слова (ненормовані):
интегральные микросхемы -- технологические процессы -- технологии микросхем -- изготовление пластин -- виготовлення пластин -- очистка подложек -- очищення підкладок -- топология микросхем -- топологія мікросхем -- тонкие пленки -- тонкі плівки -- полупроводниковые слои -- напівпровідникові шари -- диффузное легирование -- дифузне легування -- ионное легирование -- іонне легування -- биполярные структуры -- біполярні структури -- сборка микросхем -- складання мікросхем
Анотація: Технологические процессы производства микросхем: механической обработки полупроводников и диэлектриков, очистка пластин и подложек.

Утримувачі документа:
ЖОУНБ ім. О. Ольжича
Примірників всього: 1
ВВ (1)
Свободны: ВВ (1)
Знайти схожі

© Міжнародна Асоціація користувачів і розробників електронних бібліотек і нових інформаційних технологій
(Асоціація ЕБНІТ)