Зведений каталог Житомирської обласної універсальної наукової бібліотеки ім. О. Ольжича та бібліотек Житомирської області

Про нас

Електронний депозитарій LIBO

Зведений каталог України

Бази даних

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича- результати пошуку

Вид пошуку

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Цінні та рідкісні видання ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Звягельська бібліотека ЗМР

Зона пошуку

Формат представлення знайдених документів:
повний	інформаційний	короткий

Пошуковий запит: <.>K=іонно-променеве травлення<.>

Загальна кількість знайдених документів : 1

31.233
П 37

Плазменная технология в производстве СБИС [] / [Д. Толливер [и др.] ; под ред.: Н. Айнспрука, Д. Брауна ; пер. с англ.: Ю. М. Золотарева, В. В. Юдина, Е. С. Машковой. - Москва : Мир , 1987. - 1987 с. : рис., табл. - Авт. зазначено на звороті тит. арк. - Библиогр. в конце глав. - Предм. указ.: с. 463-466. - 3.40 р.
Переклад назви: VLSI Electronics Microstructure Science

ББК 31.233
Рубрики: Напівпровідникові матеріали та вироби--Обробка--Наукові видання

Кл.слова (ненормовані):
полупроводниковые материалы и изделия -- история плазменной обработки -- історія плазмової обробки -- стимулированное плазмой осаждение -- стимулююче плазмою осадження -- трехслойный резист -- тришаровий резист -- плазменное травление -- плазмове травлення -- травление при высоком давлении -- травлення при високому тису -- реактивное ионное травление -- реактивне іонне травлення -- ионно-лучевое травление -- іонно-променеве травлення -- реактивное ионно-лучевое травление -- реактивне іонно-променеве травлення -- диагностика плазмы -- діагностика плазми -- сухое анизотропное травление -- сухе анізотропне травлення
Анотація: Физика, химия и технология применения плазменной обработки в производстве СБИС.

Утримувачі документа:
ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Дод.точки доступу:
Толливер, Дональд; Новицки, Рональд; Хесс, Деннис; Горчика, Т.; Айнспрук, Н. \ред.\; Браун, Д. \ред.\; Золотарев, Ю. М. \пер.\; Юдин, В. В. \пер.\; Машкова, Е. С. \пер.\
Примірників всього: 1
ВВ (1)
Свободны: ВВ (1)
Знайти схожі

© Міжнародна Асоціація користувачів і розробників електронних бібліотек і нових інформаційних технологій
(Асоціація ЕБНІТ)