Зведений каталог Житомирської обласної універсальної наукової бібліотеки ім. О. Ольжича та бібліотек Житомирської області

Про нас

Електронний депозитарій LIBO

Зведений каталог України

Бази даних

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича- результати пошуку

Вид пошуку

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Цінні та рідкісні видання ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Звягельська бібліотека ЗМР

Зона пошуку

у знайденому

Формат представлення знайдених документів:
повний	інформаційний	короткий

Відсортувати знайдені документи за:
автором	назвою	роком видання	типом документа

Пошуковий запит: <.>K=рентгенолітографія<.>

Загальна кількість знайдених документів : 2
Показані документи с 1 за 2

621.3.049.77:621.396.6:621.315
Б78

Боков, Юрий Сергеевич.
Фото-, электронно- и рентгенорезисторы [] / Ю. С. Боков. - М. : Радио и связь, 1982. - 136 с. : рис., табл. - (Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры). - Лит.: с. 129-135. - 0.50 р.

УДК

621.3.049.77:621.396.6:621.315

ББК 32.844.1
Рубрики: Мікроелектроніка--Вироби--Практичні посібники

Кл.слова (ненормовані):
спектральный диапазон излучений -- спектральний діапазон випромінювання -- фотохимические процессы -- фотохімічні процеси -- фоторезисторы -- фоторезистори -- электронолитография -- електронолітографія -- рентгенолитография -- рентгенолітографія -- азидосодержащие полимеры -- азидовмістні полімери -- органические сенсибилизаторы -- органічні сенсибілізатори -- сополимеры -- сополімери
Анотація: Вопросы получения фото-, электроно- рентгенорезисторов и применения их в технологии микроэлектронных изделий.

Утримувачі документа:
ЖОУНБ ім. О. Ольжича
Примірників всього: 1
ВВ (1)
Свободны: ВВ (1)
Знайти схожі

621.3.049.77
Д36

Деркач, Виталий Павлович.
Методы повышения параметров БИС [] / В. П. Деркач, Г. Ф. Кияшко, М. С. Кухарчук. - К. : Вища шк., 1986. - 152 с. : рис. - Лит.: с. 143-152. - 1.40 р.

УДК

621.3.049.77

ББК 32.844.1
Рубрики: Інтегральні мікросхеми--Технологія--Наукові видання

Кл.слова (ненормовані):
биполярные интегральные схемы -- біполярні інтегральні схеми -- оптоэлектронные интегральные структуры -- оптоелектронні інтегральні структури -- акустоэлектронные интегральные структури -- акустоелектронні інтегральні структури -- фотолитография -- фотолітографія -- электронолитография -- електронолітографія -- рентгенолитография -- рентгенолітографія -- ионолитография -- іонолітографія -- вакуумно-плазменная микрообработка -- вакумно-плазмова мікрообробка -- ионное внедрение -- іонне впровадження
Анотація: Принципы работы, схемные и конструктивные особенности больших и сверхбольших интегральных микросхем.

Утримувачі документа:
ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Дод.точки доступу:
Кияшко, Галина Федоровна; Кухарчук, Маргарита Сергеевна
Примірників всього: 1
ВВ (1)
Свободны: ВВ (1)
Знайти схожі

© Міжнародна Асоціація користувачів і розробників електронних бібліотек і нових інформаційних технологій
(Асоціація ЕБНІТ)