Зведений каталог Житомирської обласної універсальної наукової бібліотеки ім. О. Ольжича та бібліотек Житомирської області

Про нас

Електронний депозитарій LIBO

Зведений каталог України

Бази даних

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича- результати пошуку

Вид пошуку

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Цінні та рідкісні видання ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Звягельська бібліотека ЗМР

Зона пошуку

у знайденому

Формат представлення знайдених документів:
повний	інформаційний	короткий

Пошуковий запит: <.>K=тонкопленочные элементы<.>

Загальна кількість знайдених документів : 1

32.844.1
Ч49

Черняев, Владимир Николаевич.
Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров [] : учебник для вузов / В. Н. Черняев. - 2-е изд., перераб. и доп. - Москва : Радио и связь, 1987. - 464 с. : рис., табл. - Лит.: с. 455. - Предм. указ.: с. 456-460. - 1.40 р.

ББК 32.844.1
Рубрики: Мікросхеми--Виробництво--Технологічні процеси--Навчальні видання для вищої школи
Мікропроцесори--Виробництво--Технологічні процеси--Навчальні видання для вищої школи

Кл.слова (ненормовані):
микросхемы -- технологические процессы -- микропроцессоры -- оксидные слои -- оксидні шари -- термическая диффузия -- термічна дифузія -- эпитаксиальные полупроводниковые слои -- епітаксиальні напівпровідникові шари -- ионное легирование -- іонне легування -- литографические процессы -- літографічні процеси -- литографические шаблоны -- літографічні шаблони -- тонкопленочные элементы -- тонкоплівкові елементи -- герметизация интегральных микросхем -- герметизація інтегральних мікросхем -- полупроводниковые интегральные схемы -- напівпровідникові інтегральні мікросхеми -- эффективность технологических процессов -- ефективність технологічних процесів -- гибридные интегральные микросхемы -- гібридні інтегральні мікросхеми
Анотація: Физико-технологические процессы изготовления интегральных микросхем и формирования сложных пленочных структур элементов интегральных микроэлектронных устройств.

Утримувачі документа:
ЖОУНБ ім. О. Ольжича
Примірників всього: 1
ВВ (1)
Свободны: ВВ (1)
Знайти схожі

© Міжнародна Асоціація користувачів і розробників електронних бібліотек і нових інформаційних технологій
(Асоціація ЕБНІТ)