Зведений каталог Житомирської обласної універсальної наукової бібліотеки ім. О. Ольжича та бібліотек Житомирської області

Про нас

Електронний депозитарій LIBO

Зведений каталог України

Бази даних

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича- результати пошуку

Вид пошуку

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Цінні та рідкісні видання ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Звягельська бібліотека ЗМР

Зона пошуку

у знайденому

Формат представлення знайдених документів:
повний	інформаційний	короткий

Відсортувати знайдені документи за:
автором	назвою	роком видання	типом документа

Пошуковий запит: <.>K=микроэлектронные приборы<.>

Загальна кількість знайдених документів : 2
Показані документи с 1 за 2

621.3.049.77
Б88

Броудай, Ивор.
Физические основы микротехнологии [] = The Physics of Microfabrication / И. Броудай, Дж. Мерей ; пер. с англ.: В. А. Володина, В. С. Першенкова, Б. И. Подлепецкого; под ред. А. В. Шальнова. - М. : Мир, 1985. - 496 с. : рис., табл. - Прил.: с. 460-664. - Лит.: с. 465-483. - Предм. указ.: с. 484-492. - 2.60 р.

УДК

621.3.049.77

ББК 32.844.1
Рубрики: Мікроелектроніка--Мікросхемотехніка--Практичні посібники

Кл.слова (ненормовані):
микроэлектронные приборы -- мікроелектронні прилади -- тонкие пленки -- тонкі плівки -- литографические методы -- літографічні методи -- пучки частиц -- пучки частин -- изготовление микросхем -- виготовлення мікросхем -- микроскопия -- мікроскопія -- микрозонды -- мікрозонди -- лазерное сканирование -- лазерне сканування -- легироание -- легування
Анотація: Технологические процессы микроэлектроники, включая субмикронную литографию, сухое травление, лазерный и электронно-лучевой отжиг.

Утримувачі документа:
ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Дод.точки доступу:
Мерей, Джулиус; Володин, В. А. \пер.\; Першенков, В. С. \пер.\; Подлепецкий, Б. И. \пер.\; Шальнов, А. В. \ред.\
Примірників всього: 1
ВВ (1)
Свободны: ВВ (1)
Знайти схожі

621.3.049.77
В15

Валиев, Камиль Ахметович.
Микроэлектроника: достижения и пути развития [] / К. А. Валиев. - М. : Наука, Гл. ред. физ.-мат. лит., 1986. - 144 с. : рис., табл. - (Проблемы науки и технического прогресса). - Лит.: с. 136-142. - 0.95 р.

УДК

621.3.049.77

ББК 32.844.1
Рубрики: Мікроелектроніка--Інтегральні мікросхеми--Популярні видання

Кл.слова (ненормовані):
законы масштабирования -- закони масштабування -- трехмерные интегральные микросхемы -- тривимірні інтегральні мікросхеми -- микроэлектронные приборы -- мікроелектронні пристрої -- сверхинтегральные устойства памяти -- надінтегральні обладнання пам'яті -- криомикроэлектроника -- кріомікроелектроніка -- молекулярная электроника -- молекулярна електроніка -- технологии микроэлектроники -- технології мікроелектроніки -- системы теневого экспонирования -- системи тіньового експонування
Анотація: Книга посвящена развитию технической базы систем переработки информации - микроэлектронным интегральным стемам и их технологии.

Утримувачі документа:
ЖОУНБ ім. О. Ольжича
Примірників всього: 1
ВВ (1)
Свободны: ВВ (1)
Знайти схожі

© Міжнародна Асоціація користувачів і розробників електронних бібліотек і нових інформаційних технологій
(Асоціація ЕБНІТ)