Зведений каталог Житомирської обласної універсальної наукової бібліотеки ім. О. Ольжича та бібліотек Житомирської області

Про нас

Електронний депозитарій LIBO

Зведений каталог України

Бази даних

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича- результати пошуку

Вид пошуку

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Цінні та рідкісні видання ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Звягельська бібліотека ЗМР

Зона пошуку

у знайденому

Формат представлення знайдених документів:
повний	інформаційний	короткий

Пошуковий запит: <.>K=технологія епітаксальних шарів<.>

Загальна кількість знайдених документів : 1

621.3.049.77(035)
Г74

Готра, Зенон Юрьевич.
Технология микроэлектронных устройств [] : справочник / З. Ю. Готра. - М. : Радио и связь, 1991. - 528 с. : рис., табл. - Лит.: с. 526. - ISBN 5-256-00699-1 : 4.00 крб

УДК

621.3.049.77(035)

ББК 32.844.1я2
Рубрики: Мікроелектроніка--Пристрої--Довідкові видання

Кл.слова (ненормовані):
монокристаллические материалы -- монокристалічні матеріали -- кристаллы полупроводниковых материалов -- кристали напівпровідникових матеріалів -- полупроводниковые подложки -- напівпровідникові підкладки -- диффузия -- дифузія -- технология эпитаксальных слоев -- технологія епітаксальних шарів -- ионная имплантация -- іонна імплантація -- технология тонких пленок -- технологія тонких плівок -- фотошаблоны -- фотошаблони -- литографические процессы -- літографічні процеси -- сборка микроэлектронных устройств -- складання мікроелектронних пристроїв -- герметизация микроэлектронных устройств -- герметизація мікроелектронних пристроїв
Анотація: Механические, химические, ионные, плазменные, электронно-лучевые и другие методы обработки в технологии микроэлектронных устройств.

Утримувачі документа:
ЖОУНБ ім. О. Ольжича
Примірників всього: 4
ВВ (1), АБ (1), ФОНД (2)
Свободны: ВВ (1), АБ (1), ФОНД (2)
Знайти схожі

© Міжнародна Асоціація користувачів і розробників електронних бібліотек і нових інформаційних технологій
(Асоціація ЕБНІТ)