Зведений каталог Житомирської обласної універсальної наукової бібліотеки ім. О. Ольжича та бібліотек Житомирської області

Про нас

Електронний депозитарій LIBO

Зведений каталог України

Бази даних

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича- результати пошуку

Вид пошуку

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Цінні та рідкісні видання ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Звягельська бібліотека ЗМР

Зона пошуку

Формат представлення знайдених документів:
повний	інформаційний	короткий

Відсортувати знайдені документи за:
автором	назвою	роком видання	типом документа

Пошуковий запит: <.>K=диагностика плазмы<.>

Загальна кількість знайдених документів : 2
Показані документи с 1 за 2

Форма документа : Однотомне видання
Шифр видання : 621.37/.39:389/А 43
Автор(и) : Агалецкий, Павел Николаевич, Бойко, Владимир Алексеевич, Дадашев, Рафик Султанович, Механников, Анатолий Иванович
Назва : Актуальные проблемы метрологии в радиоэлектронике
Вихідні дані : М.: Издательство стандартов, 1985
Кільк.характеристики :296 с.: рис.
Примітки : Лит.: с. 280-293
Ціна : 1.50 р.
УДК : 621.37/.39:389
ББК : 32 + 30.10
Предметні рубрики: Радіоелектроніка
Географіч. рубрики:
Анотація: Результаты научных метрологических исследований, полученные при создании радиотехнических эталонов.
Примірники :ВВ(1)
Вільні : ВВ(1)
Знайти схожі

Форма документа : Однотомне видання
Шифр видання : 31.233/П 37
Автор(и) : Толливер, Дональд, Новицки, Рональд, Хесс, Деннис, Горчика Т.
Назва : Плазменная технология в производстве СБИС
Вихідні дані : Москва: Мир , 1987
Кільк.характеристики :1987 с.: рис., табл.
Примітки : Библиогр. в конце глав. - Предм. указ.: с. 463-466. - Авт. зазначено на звороті тит. арк.
Ціна : 3.40 р.
ББК : 31.233
Предметні рубрики: Напівпровідникові матеріали та вироби-- Обробка
Географіч. рубрики:
Ключові слова (''Вільн.індекс.''): полупроводниковые материалы и изделия--история плазменной обработки--історія плазмової обробки--стимулированное плазмой осаждение--стимулююче плазмою осадження--трехслойный резист--тришаровий резист--плазменное травление--плазмове травлення--травление при высоком давлении--травлення при високому тису--реактивное ионное травление--реактивне іонне травлення--ионно-лучевое травление--іонно-променеве травлення--реактивное ионно-лучевое травление--реактивне іонно-променеве травлення--диагностика плазмы--діагностика плазми--сухое анизотропное травление--сухе анізотропне травлення
Анотація: Физика, химия и технология применения плазменной обработки в производстве СБИС.
Примірники :ВВ(1)
Вільні : ВВ(1)
Знайти схожі

© Міжнародна Асоціація користувачів і розробників електронних бібліотек і нових інформаційних технологій
(Асоціація ЕБНІТ)