Зведений каталог Житомирської обласної універсальної наукової бібліотеки ім. О. Ольжича та бібліотек Житомирської області

Про нас

Електронний депозитарій LIBO

Зведений каталог України

Бази даних

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича- результати пошуку

Вид пошуку

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Цінні та рідкісні видання ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Звягельська бібліотека ЗМР

Зона пошуку

Формат представлення знайдених документів:
повний	інформаційний	короткий

Пошуковий запит: <.>K=диффузное легирование<.>

Загальна кількість знайдених документів : 1

Форма документа : Однотомне видання
Шифр видання : м20/М 20
Автор(и) : Малышева, Идея Александровна
Назва : Технология производства интегральных микросхем : учебник . -2-е изд., перераб. и доп.
Вихідні дані : Москва: Радио и связь, 1991
Кільк.характеристики :344 с.: рис., табл.
Примітки : Прил.: с. 315-337. - Лит.: с. 338. - Предм. указ.: с. 338-342
ISBN, Ціна 5-256-00861-7: 2.50 крб
ББК : 32.844.1
Предметні рубрики: Інтегральні мікросхеми-- Технологічні процеси-- Виготовлення
Географіч. рубрики:
Ключові слова (''Вільн.індекс.''): интегральные микросхемы--технологические процессы--технологии микросхем--изготовление пластин--виготовлення пластин--очистка подложек--очищення підкладок--топология микросхем--топологія мікросхем--тонкие пленки--тонкі плівки--полупроводниковые слои--напівпровідникові шари--диффузное легирование--дифузне легування--ионное легирование--іонне легування--биполярные структуры--біполярні структури--сборка микросхем--складання мікросхем
Анотація: Технологические процессы производства микросхем: механической обработки полупроводников и диэлектриков, очистка пластин и подложек.
Примірники :ВВ(1)
Вільні : ВВ(1)
Знайти схожі

© Міжнародна Асоціація користувачів і розробників електронних бібліотек і нових інформаційних технологій
(Асоціація ЕБНІТ)