Зведений каталог Житомирської обласної універсальної наукової бібліотеки ім. О. Ольжича та бібліотек Житомирської області

Про нас

Електронний депозитарій LIBO

Зведений каталог України

Бази даних

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича- результати пошуку

Вид пошуку

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Цінні та рідкісні видання ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Звягельська бібліотека ЗМР

Зона пошуку

Формат представлення знайдених документів:
повний	інформаційний	короткий

Пошуковий запит: <.>K=методи переносу малюнка<.>

Загальна кількість знайдених документів : 1

Форма документа : Однотомне видання
Шифр видання : 621.3.049.77/Т22
Автор(и) : Таруи, Ясуо
Назва : Основы технологии сверхбольших интегральных схем
Вихідні дані : М.: Радио и связь, 1985
Кільк.характеристики :480 с.: рис., табл.
Примітки : Библиогр.: с. 454-474
Ціна : 2.70 р.
УДК : 621.3.049.77
ББК : 32.844.1
Предметні рубрики: Інтегральні мікросхеми-- Діагностика-- Технолгія
Географіч. рубрики:
Ключові слова (''Вільн.індекс.''): электронно-лучевая литография--електонно-променева літографя--методы переноса рисунка--методи переносу малюнка--методы контроля шаблонов--методи контролю шаблонів--методы выращивания кристаллов--методи вирощування кристалів--метод сухого травления--метод сухого травлення--лазерный отжиг--лазерний отжиг--методы образования пленок--методи утворення плівок--проверка интегральных схем--перевірка інтегральних схем--пределы микроминиатюризации--межі мікромініатюризації--интегральная инжекционная логика--інтегральна інжекційна логіка
Анотація: Методы электонно-лучевой, фото- и рентгеновской литографии, применяемые при изготовлении сверхбольших интегральных схем.
Примірники :ВВ(1)
Вільні : ВВ(1)
Знайти схожі

© Міжнародна Асоціація користувачів і розробників електронних бібліотек і нових інформаційних технологій
(Асоціація ЕБНІТ)