Зведений каталог Житомирської обласної універсальної наукової бібліотеки ім. О. Ольжича та бібліотек Житомирської області

Про нас

Електронний депозитарій LIBO

Зведений каталог України

Бази даних

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича- результати пошуку

Вид пошуку

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Цінні та рідкісні видання ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Звягельська бібліотека ЗМР

Зона пошуку

Формат представлення знайдених документів:
повний	інформаційний	короткий

Пошуковий запит: <.>K=оптична спектрометрія<.>

Загальна кількість знайдених документів : 1

Форма документа : Однотомне видання
Шифр видання : 621.3.049.77/Б95
Автор(и) : Быстров, Юрий Александрович, Колгин, Евгений Александрович, Котлецов, Борис Николаевич
Назва : Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве
Вихідні дані : М.: Радио и связь, 1988
Кільк.характеристики :168 с.: рис., табл.
Примітки : Л-ра: с. 162-166
ISBN, Ціна 5-256-00006-3: 0.65 р.
УДК : 621.3.049.77
ББК : 32.844.1
Предметні рубрики: Інтегральні мікросхеми-- Контроль
Географіч. рубрики:
Анотація: Методы и средства измерения линейных размеров, толщин и глубин топологических элементов интегральных микросхем.
Примірники :ВВ(1)
Вільні : ВВ(1)
Знайти схожі

© Міжнародна Асоціація користувачів і розробників електронних бібліотек і нових інформаційних технологій
(Асоціація ЕБНІТ)