Зведений каталог Житомирської обласної універсальної наукової бібліотеки ім. О. Ольжича та бібліотек Житомирської області

Про нас

Електронний депозитарій LIBO

Зведений каталог України

Бази даних

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича- результати пошуку

Вид пошуку

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Цінні та рідкісні видання ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Звягельська бібліотека ЗМР

Зона пошуку

Формат представлення знайдених документів:
повний	інформаційний	короткий

Пошуковий запит: <.>K=процеси окислення<.>

Загальна кількість знайдених документів : 1

Форма документа : Однотомне видання
Шифр видання : 621.3.049.771(075/Х68-309973
Автор(и) : Ховерко, Юрій Миколайович, Островський, Ігор Петрович, Дружинін, Анатолій Олександрович
Назва : Технологія елементів зінтегрованих схем мікро- та наносистемної техніки : навч. посіб.
Вихідні дані : Львів: Вид-во Львів. політехніки, 2018
Кільк.характеристики :171, [1] с.: іл., табл., портр.
Колективи : Міністерство освіти і науки України, Національний університет "Львівська політехніка"
Примітки : Скор.: с. 5-6. - Літ.: с. 164-169
ISBN, Ціна 978-966-941-219-5: 125.00 грн
УДК : 621.3.049.771(075.8)
ББК : 32.84
Предметні рубрики: Нанотехнології-- Схемотехніка-- Виготовлення
Географіч. рубрики:
Анотація: Методи отримання зінтегрованих схем, розглянуто фізичні процеси і властивості основних технологічних процесів під час створення зінтегрованних схем.
Примірники :ВВ(1)
Вільні : ВВ(1)
Знайти схожі

© Міжнародна Асоціація користувачів і розробників електронних бібліотек і нових інформаційних технологій
(Асоціація ЕБНІТ)