Зведений каталог Житомирської обласної універсальної наукової бібліотеки ім. О. Ольжича та бібліотек Житомирської області

Про нас

Електронний депозитарій LIBO

Зведений каталог України

Бази даних

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича- результати пошуку

Вид пошуку

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Цінні та рідкісні видання ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Звягельська бібліотека ЗМР

Зона пошуку

Формат представлення знайдених документів:
повний	інформаційний	короткий

Пошуковий запит: <.>K=ионное внедрение<.>

Загальна кількість знайдених документів : 1

621.3.049.77
Д36

Деркач, Виталий Павлович.
Методы повышения параметров БИС [] / В. П. Деркач, Г. Ф. Кияшко, М. С. Кухарчук. - К. : Вища шк., 1986. - 152 с. : рис. - Лит.: с. 143-152. - 1.40 р.

УДК

621.3.049.77

ББК 32.844.1
Рубрики: Інтегральні мікросхеми--Технологія--Наукові видання

Кл.слова (ненормовані):
биполярные интегральные схемы -- біполярні інтегральні схеми -- оптоэлектронные интегральные структуры -- оптоелектронні інтегральні структури -- акустоэлектронные интегральные структури -- акустоелектронні інтегральні структури -- фотолитография -- фотолітографія -- электронолитография -- електронолітографія -- рентгенолитография -- рентгенолітографія -- ионолитография -- іонолітографія -- вакуумно-плазменная микрообработка -- вакумно-плазмова мікрообробка -- ионное внедрение -- іонне впровадження
Анотація: Принципы работы, схемные и конструктивные особенности больших и сверхбольших интегральных микросхем.

Утримувачі документа:
ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Дод.точки доступу:
Кияшко, Галина Федоровна; Кухарчук, Маргарита Сергеевна
Примірників всього: 1
ВВ (1)
Свободны: ВВ (1)
Знайти схожі

© Міжнародна Асоціація користувачів і розробників електронних бібліотек і нових інформаційних технологій
(Асоціація ЕБНІТ)