Зведений каталог Житомирської обласної універсальної наукової бібліотеки ім. О. Ольжича та бібліотек Житомирської області

Про нас

Електронний депозитарій LIBO

Зведений каталог України

Бази даних

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича- результати пошуку

Вид пошуку

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Цінні та рідкісні видання ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Звягельська бібліотека ЗМР

Зона пошуку

Формат представлення знайдених документів:
повний	інформаційний	короткий

Пошуковий запит: <.>K=контроль качества очистки поверхности<.>

Загальна кількість знайдених документів : 1

32.844.1
П52

Полтавцев, Юрий Гаврилович.
Технология обработки поверхностей в микроэлектронике [] / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев. - Киев : Тэхника, 1990. - 206 с. : рис., табл. - Лит.: с. 197-204. - ISBN 5-335-00572-6 : 0.70 р.

ББК 32.844.1
Рубрики: Мікроелектроніка--Інтегральні мікросхеми--Технологія--Практичні посібники

Кл.слова (ненормовані):
микроэлектроника -- интегральные микросхемы -- химическая очистка поверхности -- хімічне очищення поверхні -- плазмохимическая очистка поверхности -- плазмохімічне очищення поверхні -- лазерная очистка поверхности -- лазерне очищення поверхні -- контроль качества очистки поверхности -- контроль якості очищення поверхні -- рентгенографический метод контроля -- рентгенографічний метод контролю
Анотація: Освещена технология очистки поверхностей кремниевых пластин в производстве интегральных схем.

Утримувачі документа:
ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Дод.точки доступу:
Князев, Александр Сергеевич
Примірників всього: 1
ВВ (1)
Свободны: ВВ (1)
Знайти схожі

© Міжнародна Асоціація користувачів і розробників електронних бібліотек і нових інформаційних технологій
(Асоціація ЕБНІТ)