Зведений каталог Житомирської обласної універсальної наукової бібліотеки ім. О. Ольжича та бібліотек Житомирської області

Про нас

Електронний депозитарій LIBO

Зведений каталог України

Бази даних

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича- результати пошуку

Вид пошуку

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Цінні та рідкісні видання ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Звягельська бібліотека ЗМР

Зона пошуку

Формат представлення знайдених документів:
повний	інформаційний	короткий

Пошуковий запит: <.>K=оптична діагностика зони обробки<.>

Загальна кількість знайдених документів : 1

621.3.049.77
Г74

Готра, Зенон Юрійович.
Лазерні методи обробки в мікроелектроніці [] / З. Ю. Готра, Я. В. Бобицький . - Л. : Світ, 1991. - 168 с. : рис., табл. - Л-ра: с. 154-165. - ISBN 5-11-000838-8 : 4.00 крб

УДК

621.3.049.77

ББК 32.844.1
Рубрики: Мікроелектроніка--Лазерна обробка--Наукові видання

Кл.слова (ненормовані):
лазерне випромінювання -- лазерное излучение -- діагностика лазерної обробки -- диагностика лазерной обработки -- техніка лазерної обробки -- техника лазерной обработки -- оптична діагностика зони обробки -- оптическая диагностика зоны обработки -- лазерний відпал -- лазерный отжиг -- лазерна епітаксія -- лазерная эпитаксия -- лазерне легування -- лазерное легирование -- лазерний синтез -- лазерный синтез -- лазерно-стимульовані процеси травлення -- лазерно-стимулирующие процессы травления -- лазерно-стимульовані процеси осадження -- лазерно-стимулирующие процессы осаждения
Анотація: Викладені фізико-технічні основи процесів створення приладів мікроелектроніки на базі лазерної техніки.

Утримувачі документа:
ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Дод.точки доступу:
Бобицький , Ярослав Володимирович
Примірників всього: 1
ВВ (1)
Свободны: ВВ (1)
Знайти схожі

© Міжнародна Асоціація користувачів і розробників електронних бібліотек і нових інформаційних технологій
(Асоціація ЕБНІТ)