Зведений каталог Житомирської обласної універсальної наукової бібліотеки ім. О. Ольжича та бібліотек Житомирської області

Про нас

Електронний депозитарій LIBO

Зведений каталог України

Бази даних

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича- результати пошуку

Вид пошуку

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Цінні та рідкісні видання ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Звягельська бібліотека ЗМР

Зона пошуку

Формат представлення знайдених документів:
повний	інформаційний	короткий

Пошуковий запит: <.>K=процеси окислення<.>

Загальна кількість знайдених документів : 1

621.3.049.771(075.8)
Х68

Ховерко, Юрій Миколайович.
Технологія елементів зінтегрованих схем мікро- та наносистемної техніки [] : навч. посіб. / Ю. М. Ховерко, І. П. Островський, А. О. Дружинін ; [ред. О. Дорошенко] ; М-во освіти і науки України, Нац. ун-т "Львів. політехніка". - Львів : Вид-во Львів. політехніки, 2018. - 171, [1] с. : іл., табл., портр. - Скор.: с. 5-6. - Літ.: с. 164-169. - ISBN 978-966-941-219-5 : 125.00 грн

УДК

621.3.049.771(075.8)

ББК 32.84
Рубрики: Нанотехнології--Схемотехніка--Виготовлення--Навчальні видання

Кл.слова (ненормовані):
кремнієві мікроструктури -- технологія напівпровідникового виробництва -- закони дифузії Фіка -- дифузійні процеси -- процеси епітаксії -- осадження полікристалічного кремнію -- іонна імплантація -- процеси окислення -- рівні проектування -- ультравеликі зінтегровані схеми -- наноелектромеханічні системи -- методи контролю зінтегрованих схем
Анотація: Методи отримання зінтегрованих схем, розглянуто фізичні процеси і властивості основних технологічних процесів під час створення зінтегрованних схем.

Утримувачі документа:
ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Дод.точки доступу:
Островський, Ігор Петрович; Дружинін, Анатолій Олександрович; Дорошенко, Ольга \ред.\; Міністерство освіти і науки України; Національний університет "Львівська політехніка"
Примірників всього: 1
ВВ (1)
Свободны: ВВ (1)
Знайти схожі

© Міжнародна Асоціація користувачів і розробників електронних бібліотек і нових інформаційних технологій
(Асоціація ЕБНІТ)