Зведений каталог Житомирської обласної універсальної наукової бібліотеки ім. О. Ольжича та бібліотек Житомирської області

Про нас

Електронний депозитарій LIBO

Зведений каталог України

Бази даних

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича- результати пошуку

Вид пошуку

Електронний каталог ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Цінні та рідкісні видання ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Звягельська бібліотека ЗМР

Зона пошуку

Формат представлення знайдених документів:
повний	інформаційний	короткий

Пошуковий запит: <.>K=травлення напівпровідників<.>

Загальна кількість знайдених документів : 1

544:537.311.33
С 56

Современные проблемы физической химии поверхности полупроводников [] : сб. науч. трудов / отв. ред.: А. В. Ржанов, С. М. Репинский. - Новосибирск : Наука, Сиб. отд-ние, 1988. - 237 с. : ил. - Библиогр. в конце глав. - ISBN 5-02-028640-0 : 3.90 р.

УДК

544:537.311.33

ББК 24.58
Рубрики: Напівпровідники--Фізична хімія--Наукові видання
Кл.слова (ненормовані):
полупроводники -- напівпровідники -- диэлектрики -- діелектрики -- химическая кинетика -- хімічна кінетика -- травление кремния -- травлення кремнію -- физико-химические процессы -- фізико-хімічні процеси -- процессы осаждения -- процеси осадження -- поверхности полупроводников -- поверхні напівпровідників -- травление полупроводников -- травлення напівпровідників -- гетерогенные реакции -- гетерогенні реакції -- физика полупроводников -- фізика напів провідників -- химия полупроводников -- хімія напівпровідників
Анотація: Сборник содержит критический анализ экспериментальных данных о процессах плазменного, ион- и лазернохимического травления полупроводников.

Утримувачі документа:
ЖОУНБ ім. О. Ольжича

Дод.точки доступу:
Ржанов, А. В. \ред.\; Репинский, С. М. \ред.\
Примірників всього: 1
ФОНД (1)
Свободны: ФОНД (1)
Знайти схожі

© Міжнародна Асоціація користувачів і розробників електронних бібліотек і нових інформаційних технологій
(Асоціація ЕБНІТ)