Ч68 Чистые помещения [] / [И. Хаякава и др.] ; под ред. И. Хаякавы ; пер. с япон. : В. Ю. Акифьева, Л. Н. Дмитрука, М. Е. Панюкова. - М. : Мир, 1990. - 456 с. : рис., табл. - Авт. зазначено на звороті тит. арк. - Лит.: с. 439-450. - Предм. указ.: с. 451-452. - ISBN 5-03-000363-0 : 4.20 р.
Рубрики: Електронні прилади--Квантова електроніка--Виробництво--Наукові видання фывфывфыв: системы чистых производственных помещений -- системи чистих виробничих приміщень -- оборудование чистых помещений -- обладнання чистих приміщень -- чистые коридоры -- чисті коридори -- поддержка чистоты -- підтримка чистоти -- метрология параметров окружающей среды -- метрологія параметрів оточуючого середовища -- чистая вода -- чиста вода -- вибрация -- вібрація -- технологические газы -- технологічні гази -- контроль среды чистых помещений -- контроль середовища чистих приміщень -- контроль спецодежды -- контроль спецодягу -- очистка пластин -- очищення пластин Аннотация: Технология производства электронных изделий - создание особо чистых помещений для изготовления прецизионных электронных компонентов и высококачественных материалов. Держатели документа: ЖОУНБ ім. О. Ольжича Доп.точки доступа: Хаякава, Ития; Окадзаки, Тосихару; Фудзии, Сюдзи; Ядзима, С.; Хаякава, Ития \ред.\; Акифьев, В. Ю. \пер.\; Дмитрук, Л. Н. \пер.\; Панюков, М. Е. \пер.\ Экземпляры всего: 1 ВВ (1) Свободны: ВВ (1) |